東京精密輪廓儀為全自動測量設備，操作者只需裝好被測工件，在檢定軟件上設定掃描的開始、結束位置，點擊“開始”按鈕，東京精密輪廓儀測針會自動接觸工件表面,并按設定的位置掃描；在進行輪廓掃描的過程中，軟件界面會實時描繪輪廓曲線；掃描結束后，操作者可通過輪廓分析工具對生成的輪廓曲線進行分析，得到如直線度、圓度、角度、距離、間距等輪廓參數。

　　東京精密輪廓儀測量步驟：

　　1.將測針正確、平穩、可靠地移動在工件被測表面上。

　　2.工件固定確認工件不會出現松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現。

　　3.在儀器上設置所需的測量條件。

　　4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產生。

　　5.測量完畢，根據圖紙對結果進行分析，標出結果，并保存、打印。

　　東京精密輪廓儀主要優點：

　　傳感器的觸針由金剛石制成，針尖圓弧半徑為2微米，在觸針的后端鑲有導塊，形成一條相對于工件表面宏觀起伏的測量的基準，使觸針的位移僅相對于傳感器殼體上下運動，所以導塊能起到消除宏觀幾何形狀誤差和減小紋波度對表面粗糙度測量結果的影響。傳感器以鉸鏈形式和驅動箱連接，能自由下落，從而保證導塊始終與被測表面接觸。

　　采用的是電感式傳感器，其工作原理簡述如下。傳感器的一端裝有觸針，其表面與被測表面接觸，當傳感器以勻速水平移動時，被測表面的峰谷使探針產生上下位移，使敏感元件的電感發生變化，從而引起交流載波波形發生變化。